DC 및 RF 스퍼터링법으로 증착한 Cr 박막의 특성 비교 - koreascholar

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DC 및 RF 스퍼터링법으로 증착한 Cr 박막의 특성 비교 KCI 등재 SCOPUS

A Comparison of the Properties of DC and RF Sputter - deposited Cr films

박민우, 이종무

언어KOR
URLhttps://db.koreascholar.com/Article/Detail/296626

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한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)

제16권 제8호 (2006.08)
pp.461-465

한국재료학회 (Materials Research Society Of Korea)

키워드

Chromium Sputtering Deposition rate Hardness

저자

박민우 | Park, Min-Woo
이종무 | 이종무

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