폴리실리콘 기판 위에 형성된 코발트 니켈 복합실리사이드 박막의 열처리 온도에 따른 물성과 미세구조변화

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Characteristics and Microstructure of Co/Ni Composite Silicides on Polysilicon Substrates with Annealing Temperature

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한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)

한국재료학회 (Materials Research Society Of Korea)

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