Cu/Ti(Ta)/NiSi 접촉의 열적안정성에 관한 연구 - koreascholar

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Cu/Ti(Ta)/NiSi 접촉의 열적안정성에 관한 연구 KCI 등재 SCOPUS

A Study on the Thermal Stability of Cu/Ti(Ta)/NiSi Contacts

유정주, 배규식

언어KOR
URLhttps://db.koreascholar.com/Article/Detail/296650

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한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)

제16권 제10호 (2006.10)
pp.614-618

한국재료학회 (Materials Research Society Of Korea)

키워드

Cu/Ti Ta/NiSi Contact Thermal Stability Diffusion Barrier Cu and Ni Diffusion

저자

유정주 | You, Jung-Joo
배규식 | 배규식

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