높은 열처리 온도를 갖는 GOI 웨이퍼의 직접접합 - koreascholar

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높은 열처리 온도를 갖는 GOI 웨이퍼의 직접접합 KCI 등재 SCOPUS

Direct Bonding of GOI Wafers with High Annealing Temperatures

변영태, 김선호

언어KOR
URLhttps://db.koreascholar.com/Article/Detail/296657

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한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)

제16권 제10호 (2006.10)
pp.652-655

한국재료학회 (Materials Research Society Of Korea)

키워드

GaAs-on-Insulator GOI Wafer direct bonding PECVD oxide Bonding strength

저자

변영태 | Byun, Young-Tae
김선호 | 김선호

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