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Al 박막의 힐록 형성에 미치는 Mo 하부층의 영향에 관한 실시간 분석 KCI 등재 SCOPUS

In-situ Analysis on the Effect of Mo Underlayer on Hillock Formation Behavior in Al Thin Films

이용덕, 황수정, 이제훈, 주영창, 박영배
  • 언어KOR
  • URLhttps://db.koreascholar.com/Article/Detail/296684
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한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)
제17권 제1호 (2007.01)
pp.25-30
한국재료학회 (Materials Research Society Of Korea)
키워드
in-situ SEMhillockstress relaxationAl thin filmMo underlayer
저자
  • 이용덕 | Lee, Yong-Duck
  • 황수정 | 황수정
  • 이제훈 | 이제훈
  • 주영창 | 주영창
  • 박영배 | 박영배
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이용덕, 황수정, 이제훈, 주영창, 박영배. (2007). Al 박막의 힐록 형성에 미치는 Mo 하부층의 영향에 관한 실시간 분석. 한국재료학회지, 17(1), 25-30.

Lee, Yong-Duck, Hwang, Soo-Jung, Lee, Je-Hun, Joo, Young-Chang, Park, Young-Bae. (2007). In-situ Analysis on the Effect of Mo Underlayer on Hillock Formation Behavior in Al Thin Films. Korean Journal of Materials Research, 17(1), 25-30.

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