논문 상세보기

기상 자기조립박막 법을 이용한 나노임프린트용 점착방지막 형성 및 특성평가 KCI 등재 SCOPUS

Deposition and Characterization of Antistiction Layer for Nanoimprint Lithography by VSAM (Vapor Self Assembly Monolayer)

차남구, 김규채, 박진구, 정준호, 이응숙, 윤능구
  • 언어KOR
  • URLhttps://db.koreascholar.com/Article/Detail/296685
구독 기관 인증 시 무료 이용이 가능합니다. 4,000원
한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)
제17권 제1호 (2007.01)
pp.31-36
한국재료학회 (Materials Research Society Of Korea)
키워드
NanoimprintAnti-stiction layerVapor self assembly monolayerVSAMAFM/LFM
저자
  • 차남구 | Cha, Nam-Goo
  • 김규채 | 김규채
  • 박진구 | 박진구
  • 정준호 | 정준호
  • 이응숙 | 이응숙
  • 윤능구 | 윤능구
인용하기
양식 선택
언어 선택
로그인