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플라즈마 포커스를 이용한 크롬 산화물 박막 성장의 분위기 기체 압력 의존성 연구 KCI 등재 SCOPUS

Dependence of Gas Pressure on Cr Oxide Thin Film Growth Using a Plasma Focus Device

정규호, 이재갑, 임현식, 이전국
  • 언어KOR
  • URLhttps://db.koreascholar.com/Article/Detail/296734
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한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)
제17권 제6호 (2007.06)
pp.308-312
한국재료학회 (Materials Research Society Of Korea)
키워드
Plasma focusion emissiondepositionCr oxide thin filmworking pressure
저자
  • 정규호 | Jung, Kyoo-Ho
  • 이재갑 | 이재갑
  • 임현식 | 임현식
  • 이전국 | 이전국
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