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Mo 하지층의 첨가원소(Ti) 농도에 따른 Cu 박막의 특성 KCI 등재 SCOPUS

Characteristic of Copper Films on Molybdenum Substrate by Addition of Titanium in an Advanced Metallization Process

홍태기, 이재갑
  • 언어KOR
  • URLhttps://db.koreascholar.com/Article/Detail/296767
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한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)
제17권 제9호 (2007.09)
pp.484-488
한국재료학회 (Materials Research Society Of Korea)
키워드
CuMoTi alloyMetallizationOut-diffusionTFT-LCDs
저자
  • 홍태기 | Hong, Tae-Ki
  • 이재갑 | 이재갑
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