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pp.37-44
안경렌즈 하드코팅막의 광학상수를 얻기 위해 실리콘 웨이퍼를 하드코팅액에 침지 후 열처리하여 실리콘 위에 하드막을 코팅한 시료를 제작하였다. 제작된 시료는 가변 입사각 분광 타원계를 이용하여 65 0 , 70 0 , 75。로 빛을 입사하여 W와 A를 얻은 후 곡 선맞춤으로 파장에 따른 굴절률과 아베수를 구했다. 하드코팅막의 두께는 시료A( 굴절률 (nd) 이 1.56 인 안경렌즈의 하드코팅막)인 경우는 약 1.611m 이고， 시료B( 굴절률 (nd) 이 1.67 인 안경렌즈의 하드코팅막)인 경우는 약 3.611m 임을 SEM사진 분석으로부터 알 수 있었다. 하드코팅막의 성분과 구조는 XRD 피크 로부터 주로 silicon으로 되어 있으며 결정방향은 (111) 임을 알 수 있었다. 시료A의 굴절률은 1.551 이며， 시료B 인 경우는 하드코팅막의 굴절률이 1.668 이였으며， 인-경렌즈 의 굴절률과 거의 비슷한 하드코팅막을 사용하여 간섭에 의한 반사 현상을 없댔으며， 아베수는 시료A와 시료B에서 각각 46 .577과 24.923임을 굴절률 분산 곡선으로부터 알 수 있었다.
The samples ware prepared by coating hard film on silicon wafer which were dipped and annealed in a hard-coating solution to measure the optical constants of hard-coating film of the ophthalmic lenses. Variable angle spectroscopic ellipsometer can be used to measure a refractive index and Abbe’s number with wavelength by fitting lj1 and 1'1 in respect to the incident angle of 650, 700, 750 • From field-emmission SEM photograph, the thicknesses of hard-coating film were about 1.6 μm for sample A (hard-coating film for ophthalmic lens with 1.56 refractive index), 3.6 μm for sample B (hard-coating film for ophthalmic lens with 1.67 refractive index), respectively. The composition and structure of the hard-coating film can be analyzed by XRD peaks. The hard-coating films were mostly made up of silicon the crystal direction of which is (111). The refractive index was 1.551 for sample A and 1.668 for sample B, respectively. Those values were a1most equal to their refractive index of ophthalmic lenses and therefore the reflection phenomena by interference did not appear in the sample A and B. The Abbe' s number could be calculated at 46.577 for sample A and at 24.923 for sample B from refractive dispersion curve.
