초기 플라즈마 방전에 미치는 RF 방전전압 변조의 영향 - koreascholar

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초기 플라즈마 방전에 미치는 RF 방전전압 변조의 영향

Effect of Amplitude Modulation on Initial RF Plasma Discharge

김연원, 이재웅

언어KOR
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해양환경안전학회 학술대회 논문집

2017년도 (사)해양환경안전학회 춘계학술발표회 논문집 (2017.04)
p.268

해양환경안전학회 (The Korean Society Of Marine Environment & Safety)

키워드

Silcion clusters PECVD plasma Thin film Amplitude modulation

저자

김연원(목포해양대학교) | Yeonwon Kim First Author
이재웅(목포해양대학교) | Jae-ung Lee Corresponding Author

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