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DOU 결점 밀도분포를 이용한 수율 모형 분석
Analysis of Yield Model Uing Defect Density Function of DOU(Defects of One Unit)
목차
Abstract
1. 서론
2. Defect, Defective 의 수율 모형
2.1 랜덤 Defect
2.2 군집 (Clustered) Defect
3. DPU, DPO 추론과 관리도 모형
3.1 DPU, DPO 가설 검정
3.2 DPU, DPO 구간 추정
3.3 DPU, DPO 관리도
4. DOU 밀도함수를 고려한 Compound Poisson 수율 모형
5. 결론
6. 참고문헌
1. 서론
2. Defect, Defective 의 수율 모형
2.1 랜덤 Defect
2.2 군집 (Clustered) Defect
3. DPU, DPO 추론과 관리도 모형
3.1 DPU, DPO 가설 검정
3.2 DPU, DPO 구간 추정
3.3 DPU, DPO 관리도
4. DOU 밀도함수를 고려한 Compound Poisson 수율 모형
5. 결론
6. 참고문헌
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