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시즈 히터 후처리 공정 개선용 열처리 설비 연구
A Study on the Heat Treatment Facilities for the Improvement of the Sheath Heater Post Processing
이정익
- 언어KOR
- URLhttps://db.koreascholar.com/Article/Detail/369839
한국기계기술학회 학술대회논문집
(Proceedings of KSMT Annual Meeting)
한국기계항공기술학회(구 한국기계기술학회)
(Korean Society of Mechanical Technology)
키워드
Sheath Heater시즈 히터Post Processing후처리 공정Heat Treatment열 처리Semiconductor반도체Susceptor서쎕터
목차
1. 서론
2. 연구개발이 필요한 사항
3. 기술개발의 시급성
4. 결론
References
2. 연구개발이 필요한 사항
3. 기술개발의 시급성
4. 결론
References
저자
