저온 플라즈마를 이용한 금속 코발트와 몰리브덴 표면 제염 연구 - koreascholar

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저온 플라즈마를 이용한 금속 코발트와 몰리브덴 표면 제염 연구

임병주, 전상환, 김용수, 정종헌, 김계남, 오원진

언어KOR
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한국방사성폐기물학회 학술논문요약집 (Abstracts of Proceedings of the Korean Radioactive Wasts Society)

한국방사성폐기물학회 추계 심포지움 논문요약집 (2004.11)
p.30

한국방사성폐기물학회 (Korean Radioactive Waste Society)

키워드

RF 플라즈마 불화반응 CF4/O2 SF6/O2 코발트 몰리브덴 바이어스 전압

저자

임병주(한양대학교)
전상환(한양대학교)
김용수(한양대학교)
정종헌(한국원자력연구소)
김계남(한국원자력연구소)
오원진(한국원자력연구소)

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