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저온 플라즈마를 이용한 금속 코발트와 몰리브덴 표면 제염 연구

임병주, 전상환, 김용수, 정종헌, 김계남, 오원진
  • 언어KOR
  • URLhttps://db.koreascholar.com/Article/Detail/382288
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한국방사성폐기물학회 학술논문요약집 (Abstracts of Proceedings of the Korean Radioactive Wasts Society)
한국방사성폐기물학회 추계 심포지움 논문요약집 (2004.11)
p.30
한국방사성폐기물학회 (Korean Radioactive Waste Society)
키워드
RF 플라즈마불화반응CF4/O2SF6/O2코발트몰리브덴바이어스 전압
저자
  • 임병주(한양대학교)
  • 전상환(한양대학교)
  • 김용수(한양대학교)
  • 정종헌(한국원자력연구소)
  • 김계남(한국원자력연구소)
  • 오원진(한국원자력연구소)
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