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측정 탐침의 각도, 거리, 개구수 변화가 반사계 두께 결정에 미치는 영향

The Effect of Angle, Distance, and Numerical Aperture of a Measuring Probe on Thickness Determination in Reflectometry

강재구, 임동순
  • 언어KOR
  • URLhttps://db.koreascholar.com/Article/Detail/410753
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한국산업경영시스템학회 학술대회
2021년 한국산업경영시스템학회 추계학술대회 (2021.11)
pp.297-300
한국산업경영시스템학회 (Society of Korea Industrial and Systems Engineering)
저자
  • 강재구(한남대학교 산업공학과)
  • 임동순(한남대학교 산업공학과)
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강재구, 임동순. (2021). 측정 탐침의 각도, 거리, 개구수 변화가 반사계 두께 결정에 미치는 영향. 2021년 한국산업경영시스템학회 추계학술대회, 297-300.

강재구, 임동순. (2021). The Effect of Angle, Distance, and Numerical Aperture of a Measuring Probe on Thickness Determination in Reflectometry. 2021년 한국산업경영시스템학회 추계학술대회, 297-300.

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