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반도체 클린룸의 AMCs 제거용 이온 교환 복합 필터 제조와 황화수소 및 암모니아 흡착 특성 연구

  • 언어KOR
  • URLhttps://db.koreascholar.com/Article/Detail/421442
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한국막학회 (The Membrane Society Of Korea)
저자
  • 민수빈(한국화학연구원 화학공정연구본부 C1가스 탄소 융합센터)
  • 안이삭(한국화학연구원 화학공정연구본부 C1가스 탄소 융합센터)
  • 강호철(한국화학연구원 화학공정연구본부 C1가스 탄소 융합센터)
  • 김정훈(한국화학연구원 화학공정연구본부 C1가스 탄소 융합센터)