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Biased Double Arc Plasma CVD법에 의한 초경합금의 TiN 증착에 관한 연구 KCI 등재
A Study on the Chemical Vapour Deposition of TiN Coating on Cemented Carbides by Biased Double Arc Plasma
한국기계기술학회지
(Journal of the Korean Society of Mechanical Technology)
제1권 제1호 (1999.12)
pp.39-45
pp.39-45
한국기계기술학회
(Korean Society of Mechanical Technology)
키워드
목차
Abstract
1. 서론
2. 실험방법
3. 실험결과 및 고찰
3.1 증착층의 우선성장 방위
3.2 증착표면의 형상변화
3.3 증착층의 두께변화
3.4 증착층의 경도
4. 결론
참고문헌
1. 서론
2. 실험방법
3. 실험결과 및 고찰
3.1 증착층의 우선성장 방위
3.2 증착표면의 형상변화
3.3 증착층의 두께변화
3.4 증착층의 경도
4. 결론
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