논문 상세보기
Biased Double Arc Plasma CVD법에 의한 초경합금의 TiN 증착에 관한 연구 KCI 등재
A Study on the Chemical Vapour Deposition of TiN Coating on Cemented Carbides by Biased Double Arc Plasma
양영호
- 언어KOR
- URLhttps://db.koreascholar.com/Article/Detail/54954
4,000원
한국기계항공기술학회지(구 한국기계기술학회지)
(Journal of the Korean Society of Mechanical and Aviation Technology)
제1권 제1호 (1999.12)
pp.39-45
pp.39-45
한국기계항공기술학회(구 한국기계기술학회)
(Korean Society of Mechanical Technology)
키워드
PECVDTiN coating
목차
Abstract
1. 서론
2. 실험방법
3. 실험결과 및 고찰
3.1 증착층의 우선성장 방위
3.2 증착표면의 형상변화
3.3 증착층의 두께변화
3.4 증착층의 경도
4. 결론
참고문헌
1. 서론
2. 실험방법
3. 실험결과 및 고찰
3.1 증착층의 우선성장 방위
3.2 증착표면의 형상변화
3.3 증착층의 두께변화
3.4 증착층의 경도
4. 결론
참고문헌
저자
같은 권호 다른 논문
