Pellicle is defined as a thin transparent film stretched over an aluminum (Al) frame that is glued on one side of a photomask. As semiconductor devices are pursuing higher levels of integration and higher resolution patterns, the cleaning of the Al flame surface is becoming a critical step because the contaminants on the Al flame can cause lithography exposure defects on the wafers. In order to remove these contaminants from the Al frame, a highly concentrated nitric acid (HNO3) solution is used. However, it is difficult to fully remove them, which results in an increase in the Al surface roughness. In this paper, the pellicle frame cleaning is investigated using various cleaning solutions. When the mixture of sulfuric acid (H2SO4), hydrofluoric acid (HF), hydrogen peroxide (H2O2), and deionized water with ultrasonic is used, a high cleaning efficiency is achieved without HNO3. Thus, this cleaning process is suitable for Al frame cleaning and it can also reduce the use of chemicals.

개방형 도시정보모델은 3차원 가시성으로 인한 상황 이해도를 증진시키고, 의미정보 및 객체간 관계정보로의 접근으로 인한 효율적인 정보 재사용을 가능하게 하며, 다양한 외부 데이터와의 연계를 통해 구체적이고 신뢰도 높은 의사결정을 지원한다. 본 연구에서는 실제 데이터를 기반으로 지형 및 건물에 대한 개방형 도시정보모델 생성하였다. 또한 침수해 발생과 관련한 수리해석 데이터와 도시정보모델을 연계한 건물의 침수 시뮬레이션 프로세스를 개발하고 이를 적용하였으며, 인명 및 재산피해 예상값을 도출하였다. 마지막으로 정보모델이 포함하고 있는 모델 데이터와 침수 수리해석 결과 및 피해결과를 활용한 구체적인 질의를 통해 도시정보모델의 활용성을 검토하였다.

This study describes the effects of canola oil biodiesel (BD) blended fuel on the combustion performance and emission characteristics in a 4-cylinder common-rail direct injection diesel engine. In this study, with the increasing of engine loads, the biodiesel blend fuels(100 vol.% ULSD and 0 vol.% biodiesel blend, BD0; 80 vol.% ULSD and 20 vol.% biodiesel blend, BD20; 0 vol.% ULSD and 100 vol.% biodiesel blend, BD100; ULSD: ultra low sulfur diesel) were used at an engine speed of 1,500rpm. The experimental results showed that with the increasing of biodiesel blend rate, the combustion pressure decreased slightly at engine load of 20~60Nm. However, the rate of heat release (ROHR) increased clearly and ignition delay time was shortened. With the increasing of biodiesel blend rate, the carbon monoxide (CO) and particulate matter (PM) emissions were more decreased at all of the engine loads.

This study was performed to investigate the effect of fuel combustion enhancing apparatus(FCEA) for ionization of intaking air into cylinder combustion chamber on the combustion performance and emissions characteristics in a 4-cylinder common-rail direct injection diesel engine. The experiments were applied to the engine at an engine speed of 1,500rpm under 20Nm, 40Nm, 60Nm and 80Nm conditions. The test results were compared to each other with or without the FCEA. In the case of the FCEA, the combustion pressure, peak combustion pressure and rate of heat release were increased slightly and the brake specific fuel consumption(BSFC) was decreased slightly when compared to that without the FCEA under all loads at an engine speed of 1,500rpm. However, in the case of the FCEA, the nitrogen oxide(NOx) were increased slightly, the carbon monoxide(CO) and particulate matter(PM) were decreased slightly when compared to that without the FCEA under all loads at an engine speed of 1,500rpm.

It is well known that smoking generates harmful air pollutants. With smoking in buildings as well as in the streets prohibited, the need for smoking rooms has emerged. In this study, particle and CO contamination in a 63.6 m3 smoking room was experimentally investigated using Korean tobacco. Tobacco smoking was artificially simulated using a smoking machine. The number and size distribution of particles ranging from 10-420 nm and 0.25-32 μm were measured using a Nanoscan (TSI model 3910) and a portable aerosol spectrometer (Grimm model 1.109), respectively. CO concentration was also monitored using an IAQ monitor (Graywolf IAQ-Xtra 610). Four tobaccos were simultaneously smoked in each experiment, and the experiment was repeated four times. Maximum CO concentrations of 7-10 ppm were observed and high concentrations of particles (176,000-1,115,000 particles/cm3 for 10-420 nm, 3,700-5,200 particles/cm3 for 0.25-32 μm) were also monitored. The dominant size of tobacco particles was about 100 nm in diameter.

대량생산이 가능하여 바이오매스로서 활용가능이 큰 부레옥잠의 수확 후 건조 장치를 개발하기 위한 열풍건조 특성을 분석하였다. 수확 후 절단된 원료의 경우 수분과 원료 고형분이 혼합된 죽처럼 형상화되어 공극이 불량하여 통풍건조가 불가능하였다. 절단하지 않은 원료는 공극이 비교적 잘 형성되어 통풍건조가 가능하였으며, 풍량 2 수준(33.53 m3/min, 42.58 m3/min) 건조공기 온도 3 수준(26 ∼ 28℃, 30 ∼ 32℃, 34 ∼ 37℃)으로 건조실험을 수행한 결과 건조속도는 건조공기 온도에 많은 영향을 받았으며, 부레옥잠 열분해 처리를 위한 함수율을 약 20%로 가정할 경우, 가장 적합한 건조방식은 풍량 42.58 m3/min, 건조공기온도 37℃, 풍량비 1.05 m3/min-kg인 열풍 Ⅱ 건조 방식임을 알 수 있다. 따라서 향 후 개발되는 부레옥잠 건조용 건조 장치를 설계하는 경우 건조공기온도 약 40℃ 이상, 풍량비 약 1.05 m3/min-kg 이상을 기준으로 송풍량과 공기가열 히터 용량을 결정하면 건조속도 5%/hr 이상, 최종건조함수율 20% 이하로 부레옥잠을 건조하는 것이 가능할 것으로 판단되었다.

The deep see riser is often exposed to harsh ocean environment which may cause riser failure. If the riser fails, it may cause serious economical losses as well as environmental problems. Thus, monitoring the integrity of the rider for preventing sudden failure is very important. In this study, the structural behavior monitoring systems installed for the deep sea riser are examined, and, using the estimated behavior, the applicability of the structural integrity evaluation methods is examined via numerical analysis.

In constructing the cast-in-place concrete track system, the installation of reinforcing bars to a TCL is one of the main causes of consuming construction time. In this study, to eliminate the reinforcing bar installation process, the applicability of the fiber reinforced concrete to the TCL is studied using the numerical analysis. The analysis is performed using the commercial finite element program, ABAQUS, and, in the analysis, the effect of the variations in fiber content rate and the surrounding temperature is considered. From the analysis, it is found that the fiber reinforced concrete has better applicability than the existing reinforced concrete with steel bar.

체계적으로 구축된 3차원 정보모델은 응용분야에서 효과적으로 활용 가능하다. 본 연구에서는 침수에 따른 피해정보 관리에 적합한 도시정보모델을 생성하여 활용하는 방법을 제시하였다. 정보의 상호운용성과 재사용성을 보장받기 위해 개방형 표준 데이터 스키마인 CityGML이 포함하고 있는 정보 항목을 활용하는 방법 및 추가 필요항목에 대한 확장방안을 제시하였고, 지형과 건물모델을 효과적으로 통합할 수 있는 방안을 제시하여 적용하였다. 실제 침수피해 사례를 대상으로 생성한 통합정보모델이 포함하고 있는 데이터를 활용하여 침수해에 따른 예상 사망자 수, 예상 고립자 수를 산정하였으며, 이를 통해 정보모델이 침수피해 산정과 같은 응용분야에 활용 가능함을 확인하였다.

Currently, the harvest is achieved by manpower of laborer and recently, the bulk of laborers are almost old people and women. In addition, due to the inconveniences of using harvest baskets and the percentages of labor in harvesting are high, in this research the harvest basket is designed for using in harvest. The basket is designed by consideration of the physical condition, it is analyzed about the effects of the weight and strain on the harvest basket by using the structure analysis. As a result, underside of basket occurs largest deformation. And the back of basket occurs lower deformation than underside of basket.

최근 터널에서 균열, 누수 등과 같은 현상이 많이 발생하고 있어 터널의 안정성 및 균열보수, 미관, 고 객의 공용 중 심리적 불안감을 조성한다는 것을 쉽게 찾을 수 있다. 고속국도 제30호선 상주~안동간은 16개소/12km의 터널이 설계되어 있어 터널의 비중이 크다. 그러므로 본 연구에서는 터널 라이닝 균열 발생 원인분석 및 기존사례 조사를 통하여 균열발생 최소화 방안을 검토 및 터널 라이닝의 유해한 균열 방지를 위하여 공사관계자(발주처, 감리사, 시공사, 하도급사 등) 의견수렴을 통한 여러 가지 대책공법 을 제안하였으며 제안공법의 효율성을 판단하기 위해 고속국도 제30호선 상주~안동간 제 8공구의 단촌 2터널, 단촌 3터널에 시험시공을 실시하여 각 공법별 균열율 및 시공성, 경제성을 고려하여 결과를 분석 하고 최적의 공법을 파악, 전파하는데 그 목적이 있다.

고속도로 버스전용차로는 버스 등 다인승차량에 통행우선권을 부여함으로써 버스의 신속성 및 정시성을 개선 하여 승용차 이용을 억제하고 대량수송 수단인 버스 이용을 촉진시켜 고속도로의 수송효율을 높이는 것을 목적 으로 한다. 우리나라는 경부고속도로에서 1994년 추석에 시범운영 뒤, 1995년에는 주말(신탄진IC~서초IC), 2008년에는 평일(오산IC~한남)로 확대 운영하고 있다. 버스전용차로제 허용차종은 국외사례에서는 일반적으로 2+, 3+ 등 다인승차종이지만 우리나라 9인 이상 승차인원 차량에 6인 이상 탑승한 차량을 기준으로 하므로 버스 와 승합차의 구성비가 상당히 높은 것이 특징이다. 버스전용차로의 속도는 버스전용차로의 교통량 수준, 나들목 등 본선에서의 진출입 시설 간격 뿐만 아니라 일반차로의 속도나 차종구성비에도 영향을 받을 것으로 판단된다. 본 연구에서는 버스전용차로 및 일반차로의 속도수준에 따른 승합차의 차로통행특성에 대해 분석하였다. 본 분석의 시간적 범위는 2014년 8월 일요일 경부고속도로 버스전용차로제 시행시간(07~21시)이며, 공간적 범위는 서울방향 안성IC~안성JC~오산IC 구간이다. 분석에는 시간대별 교통검지기(VDS)자료와 차종검지기 (AVC) 자료를 이용하였다. AVC 차종분류에 의하면 버스전용차로 운행가능차종은 1종(16인승 미만의 승합차), 2종(16인승 이상 버스)이다. 분석결과, 구간별로 차이는 있지만 일반차로 통행속도가 약 70km/h 또는 40km/h 이하에서 상당수의 승합 차(1종)가 일반차로에서 버스전용차로로 차로를 변경을 하는 것으로 분석되었다. 따라서 버스전용차로 교통량 중 버스는 최대 500대/시인 반면, 승합차는 일반차로의 속도가 70km/h 이상일 경우에는 200대/시 미만이지만 일반차로의 속도가 70km/h 이하인 경우에서는 최대 900대인 것으로 나타났다. 버스전용차로 교통량이 증가함 에 따라 버스전용차로의 속도는 점차 감소하다가 약 1,100~1,200대/시 구간에서 급격히 속도가 저하되며, 일 부 구간에서는 교통량은 적으나 속도도 낮은 용량와해상태에 이르는 와굴곡선형태를 띠는 것으로 나타났다.

As the fabrication technology used in FPDs(flat-panel displays) advances, the size of these panels is increasing and the pattern size is decreasing to the um range. Accordingly, a cleaning process during the FPD fabrication process is becoming more important to prevent yield reductions. The purpose of this study is to develop a FPD cleaning system and a cleaning process using a two-phase flow. The FPD cleaning system consists of two parts, one being a cleaning part which includes a two-phase flow nozzle, and the other being a drying part which includes an air-knife and a halogen lamp. To evaluate the particle removal efficiency by means of two-phase flow cleaning, silica particles 1.5μm in size were contaminated onto a six-inch silicon wafer and a four-inch glass wafer. We conducted cleaning processes under various conditions, i.e., DI water and nitrogen gas at different pressures, using a two-phase-flow nozzle with a gap distance between the nozzle and the substrate. The drying efficiency was also tested using the air-knife with a change in the gap distance between the air-knife and the substrate to remove the DI water which remained on the substrate after the two-phase-flow cleaning process. We obtained high efficiency in terms of particle removal as well as good drying efficiency through the optimized conditions of the two-phase-flow cleaning and air-knife processes.

The soybean [Glycine max (L.) Merr.], an ediblelegume, has a high protein content in both its hay andgrain, so it is often used as a supplement for other foragesthat have a deficient protein concentration. Therefore, thisstudy investigated the forage quality and yield in the caseof mixed planting of soybean and corn. The forage yield andquality were assessed for three cropping patterns: soybeanmono planting, corn mono planting, and mixed planting ofsoybean and corn. For planting, this study used a forage corncultivar, Kwangpyeongok, and three recombinant inbreed lines,W2, W4, and W11, selected from Glycine soja (PI483463)×G. max (Hutcheson). The mixed planting of soybean and cornproduced a higher forage yield than the corn mono cropping.The crude protein and crude fat content were also increasedwith the mixed planting of soybean and corn when comparedwith the corn mono cropping. Some decrease of ADF andNDF, and increase for RFV in mixed planting of soybeanand corn than corn mono cropping. Therefore, the resultsshow that mixed planting of soybean and corn is aneffective cropping system to improve the forage quality.

The HANARO reactor constructed from Jan. 1985 to April 1995, and a major utilization system, the Cold Neutron Research Facility was completed Nov. 2010. The cold neutron research facility consists of a Cold Neutron Source, a process system, a neutron guide and a Spectrometer. A moderator is utilized to transform thermal neutrons into cold neutrons. A moderator cell accommodates the moderator. The inner assembly contains an aluminum moderator cell connected to a stainless steel heat exchanger by a bi-metallic transition joint. An In-Pool Assembly is welded to this inner assembly and a double flexible pipe, and a vacuum chamber is inserted. After HANARO reactor shutdown, the in-pool assembly was installed at a cold neutron hole in the reactor pool. We confirmed a precise installation by using an underwater TV camera for a nuclear reactor inspection. In-pool assembly connected to double flexible pipe each system in the Cold Neutron Research Facility. After cold neutron research facility operated, the reliability of vacuum system, helium refrigerator system, gas blanket system and hydrogen system for maintenance was confirmed.