반도체/LCD 제조공정에서의 Silane에 대한 ALARP개념의 화재 폭발 위험성평가에 관한 연구

이중희; 황성민; 우인성

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반도체/LCD 제조공정에서의 Silane에 대한 ALARP개념의 화재 폭발 위험성평가에 관한 연구 KCI 등재

A Study on the As Low As Reasonably Practicable (ALARP)-Concept Risk Assessment of Silane in Semiconductor and LCD Process

이중희, 황성민, 우인성

언어ENG
URLhttps://db.koreascholar.com/Article/Detail/245852

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대한안전경영과학회지 (Journal of Korea Safety Management & Science)

제12권 제4호 (2010.12)
pp.93-98

대한안전경영과학회 (Korea Safety Management & Science)

초록

본 연구에서는, 반도체, LCD 공정에서 금속막을 증착하기 위하여 PECVD장비에 화재, 폭발 위험성과 독성을 가진 Silane가스를 사용하게 되는 장비인 gas cabinet, pipeline, VMB(Valve manifold box), MFC(mass flow controller)장비 등, 전반적인 시스템에 대하여 영국 HES의 ALARP개념을 도입하여 위험성 평가를 실시하여 문제점을 도출하고 대책을 강구 하는데 목적이 있고, 여러 가지 문제점중

키워드

PECVD Silane gas ALARP-concept risk assessment

저자

이중희 | Lee, Joong-Hee
황성민 | Hwang, Seong-Min
우인성 | Woo, In-Sung

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