레이저 주사 공초점 현미경은 비접촉, 비파괴적인 방법으로 수백 ㎚ 크기의 물질의 이미지를 관찰할 수 있다. 본 연구에서는 공초점 현미경을 이용하여 V₂O5 박막의 표면에 성장된 수백 ㎚ 크기의 나노로드를 관찰하였으며, 공초점 현미경의 파장 의존성을 확인하기 위해 동일한 위치에 대해 짧은 파장대인 405 ㎚와 긴 파장대의 633 ㎚의 레이저 광원을 사용하여 이미지를 구현하였다. 실험결과, 긴 파장인 633㎚의 광원을 사용한 이미지에서는 번짐 현상이 심해져 명암대비가 작아지고 나노로드의 경계를 명확하게 분해하지 못하였지만, 짧은 파장인 405 ㎚의 광원을 사용하면 명암대비가 커지고 나노로드의 이미지를 명확하게 분해할 수 있었다. 따라서 짧은 파장의 광원을 사용한 공초점 현미경은 주사전자현미경(SEM)을 대신한 새로운 나노구조의 측정방법으로 이용될 수 있을 것으로 기대된다.

Confocal laser scanning microscope can observe the image of several hundred nanometer sized-object by non-contact and non-destructive techniques. In this study, we observed several hundred nanometer-sized rods grown on V₂O5 thin films using confocal microscope, and realized images from the same position using shorter wavelength of 405 ㎚ and longer wavelength of 633 ㎚ light sources, respectively to identify the wavelength dependence of confocal microscope images. As a result, the images produced using longer wavelength light source of 633 ㎚ shows severe phenomenon of blur therefore, the contrast is reduced and cannot resolved the boundary of nano-rods clearly, however, when the light source with shorter wavelength of 405 ㎚ was used, the images with high contrast and clear boundary of nano-rods were obtained. Therefore, instead of SEM, confocal microscope using shorter wavelength light source is hoped to be utilized as a new observing tool of nano-structures.

1. 서 론
2. 이 론
3. 실험방법
  3.1. 공초점현미경 장치구성
  3.2. 시편 준비
4. 결과 및 고찰
5. 결 론
Acknowledgement
참고문헌

• 김태성(울산대학교 물리학과) | Taesung Kim
• 이재란(울산대학교 물리학과) | Jaeran Lee
• 강만일(울산대학교 물리학과) | Manil Kang
• 김석원(울산대학교 물리학과) | Sok Won Kim