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SnO2/TiO2후막소자의 감습특성 KCI 등재 SCOPUS

Humidity Characteristics of SnO2/TiO2 Thick Film Devices

  • 언어KOR
  • URLhttps://db.koreascholar.com/Article/Detail/294594
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한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)
한국재료학회 (Materials Research Society Of Korea)
초록

TiO2가 5-50wt%첨가된 SnO2/TiO2 후막형 감습소자를 스크린 프린팅 법을 이용하여 제조 하였다. 소자의 표면결정구조를 XRD, SEM 그리고 FTIR로 조사하였으며, 전기적 특성에 의한 후막소자의 감습특성을 측정하였다. SnO2/TiO2 후막은 TiO2 결정상 보다 주로(SnO2)·6T 결정상으로 나타났으며, 1300˚C에서 소결된 후막소자의 평균입경은 2.0μm이었다. 또한 1300˚C에서 소결된 10wt% TiO2가 첨가된 SnO2/TiO2 후막소자는 상대습도 20-90%에서 높은 감습특성을 나타내었다.

저자
  • 박효덕 | Park, Hyo-Deok
  • 이덕동 | 이덕동