플라즈마 화학증착된 TiN박막의 마모특성

인치범; 천성순

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플라즈마 화학증착된 TiN박막의 마모특성 KCI 등재 SCOPUS

Wear Behavior of TiN Coatings Deposited by Plasma Assisted Chemical Vapor Deposition

인치범, 천성순

언어KOR
URLhttps://db.koreascholar.com/Article/Detail/294690

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한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)

제3권 제5호 (1993.10)
pp.451-458

한국재료학회 (Materials Research Society Of Korea)

초록

베아링강(AISI S2100) 위에 TiCi4, N2,H2,그리고 Ar의 기체혼합계를 이용하여 플라즈마화학증착법으로 내마모 TiN증착층을 얻었다. 증착된 TiN층 내의 잔류 CI에 의한 결정성, 미소경도, 접착력, 그리고 마모특성에 대해 연구하였다. TiN 중착층은 좋은 내마모성을 가지고 있었으며, TiN의 기계적 특성은 잔류CI함량이 증가할때 나빠졌다. 마모측정결과 마모면의 trailing edge에 인장응력이 걸려 많은 crack이 관찰되엇다.

저자

인치범 | In, Chi-Beom
천성순 | 천성순

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