Characterization of Surface Damage and Contamination of Si Using Cylindrial Magnetron Reactive Ion Etching - koreascholar

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Characterization of Surface Damage and Contamination of Si Using Cylindrial Magnetron Reactive Ion Etching KCI 등재 SCOPUS

Young, Yeom-Geun

언어ENG
URLhttps://db.koreascholar.com/Article/Detail/294694

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한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)

제3권 제5호 (1993.10)
pp.482-496

한국재료학회 (Materials Research Society Of Korea)

저자

Young, Yeom-Geun

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