유기 금속 화학 증착법에 의한 (Ba1-x, Srx)TiO3 박막의 제조 및 전기적 특성

윤종국; 윤순길

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유기 금속 화학 증착법에 의한 (Ba1-x, Srx)TiO3 박막의 제조 및 전기적 특성 KCI 등재 SCOPUS

Preparation and Electrical Properties of (Ba1-x, Srx)TiO3 Thin Film by Metal-Organic Chemical Vapor Deposition

윤종국, 윤순길

언어KOR
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한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)

제5권 제7호 (1995.10)
pp.816-819

한국재료학회 (Materials Research Society Of Korea)

초록

저압 유기금속 화학 증탁법에 의하여 Pt/Ti/SiO2/Si 기판위에 (Ba1-x , Srx)TiO/3박막이 제조 되었다. 제조된 BST 박막의 결정화도는 증착온도가 증가함에 따라 (100)방향으로 우선 성장하였다. 900˚C에서 증착한 BST 박막은 100kHz의 주파수에서 유전상수가 365, 유전손실이 0.052를 나타내었다. 인가전계에 따라 축전용량의 변화가 작은 상유전 특성을 보였으며 0.2MV/cm인가 전계에서 축적 전하 밀도(charge storage density)는 60fC/μm2을, 0.15MV/cm인가 전계 영역에서 누설 전류밀도(leakage current density)는 20nA/cm2을 나타냈다.냈다.

저자

윤종국 | Yun, Jong-Guk
윤순길 | 윤순길

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