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Spray Pyrolysis 방법으로 증착된 SnO2박막의 전기 및 광학적 특성 KCI 등재 SCOPUS
Electrical and Optical Properties of SnO2 Films Prepared by Spray Pyrolysis Method
김혜동, 박민수, 이범주, 안병태
- 언어KOR
- URLhttps://db.koreascholar.com/Article/Detail/294979
4,000원
한국재료학회지
(Korean Journal of Materials Research)
제6권 제2호 (1996.02)
pp.145-152
pp.145-152
한국재료학회
(Materials Research Society Of Korea)
초록
태양전지의 앞면전극으로 사용될 SnO2박막을 spray pyrolysis 방법으로 증착하여 증착조건에 따른 박막 특성을 연구하였다. 증착온도가 증가함에 따라 SnO2박막의 우선방위가 (200)면에서 면밀도가 더 높은 (211), (110)면으로 바뀌었고 막의 미세구조도 거칠고 각진 구조에서 평탄한 구조로 변하였다. 또한 더 안정된 결정면 성장과 온도 증가에 의해 CI, F 등의 불순물 흡착이 어려워져 전자 전하농도가 감소하고 비저항 값이 증가하였다. 특히 500˚C 이상에서는 전하농도가 크게 감소하여 비저항이 크게 증가하였다. NH4F/Sn=2.3인 용액으로 400˚C에서 증착된 SnO2박막은 약 90%이상의 광투과도를 갖고 균일한 도핑으로 인해 약 4×10-4Ω .cm의 낮은 비저항 값을 나타내었다. 두께에 따른 판저항과 광투과도의 상반된 효과를 고려한 figure of merit으로부터 투명전극으로써 가장 적절한 두께는 약 500nm이었다.
저자
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