사파이어기판 상의 ZnO 박막 성장에 관한 연구

이용의; 김형준; 양형국; 박종철; 김유택; 김영진

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사파이어기판 상의 ZnO 박막 성장에 관한 연구 KCI 등재 SCOPUS

A Study on the Growth of ZnO Thin Films Deposited on the Sapphire Sustrates

이용의, 김형준, 양형국, 박종철, 김유택, 김영진

언어KOR
URLhttps://db.koreascholar.com/Article/Detail/295004

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한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)

제6권 제3호 (1996.03)
pp.341-346

한국재료학회 (Materials Research Society Of Korea)

초록

R-sapphire 기판위에 rf magnetron 스퍼터 방법으로 ZnO 박막을 증착하여 박막의 증착변수에 따른 결정성장방향과 SAW 특성을 분석하였다. 증착온도, 압력, rf 전력에 의해 박막 성장면이 (002)에서 (110)으로의 전이가 관찰되었다. 5mTorr, 400˚C, 250W의 rf 전력에서 가장 우수한 (110)방향의 에피 ZnO 압전 박막의 SAW 특성을 분석하기 위하여 제작된 마스크를 사용하여 IDT를 구성한 후 SAW 특성을 분석한 결과 h/λ=0.08의 조건에서 전단속도가 약 5232m/s로서 고주파용 SAW 필터의 제조에 적합한 특성을 보이고 있다.

저자

이용의 | Lee, Yong-Ui
김형준 | 김형준
양형국 | 양형국
박종철 | 박종철
김유택 | 김유택
김영진 | 김영진

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