ECR PECVD법으로 증착된 lead titanate박막의 조성과 미세구조에 대한 증착변수의 영향

정수옥; 정성웅; 이원종

논문 상세보기

ECR PECVD법으로 증착된 lead titanate박막의 조성과 미세구조에 대한 증착변수의 영향 KCI 등재 SCOPUS

The Effects of Process Parameters on the Composition and Microstructure of Lead Titanate Thin Films deposited by ECR PECVD

정수옥, 정성웅, 이원종

언어KOR
URLhttps://db.koreascholar.com/Article/Detail/295131

구독 기관 인증 시 무료 이용이 가능합니다. 4,000원

한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)

제7권 제2호 (1997.02)
pp.93-101

한국재료학회 (Materials Research Society Of Korea)

초록

Lead titanate박막을 Pt/Ti/SiO2/Si(Pt/Ti기판)와 Pt/Ta/SiO2/SiO2Si(Pt/Ta 기판) 위에서 전자 사이크로트론 공명플라즈마 화학증착법(ECR PECVD)으로 증착하였다. 증착온도, 산소유입량, MO source유입비등의 증착변수에 따른 lead titanate박막의 조성과 미세구조를 주사전자현미경(SEM), 투과전자현미경(TEM), X선 회절법(XRD)으로 조사하였다. 산소유입량이 적을 경우,Tisource와 Pb source의 산소화의 반응성 차이 때문에 Pb 농도가 부족한 화학양론비가 잘 맞는 박막이 증착되었다. Pt/ti기판은 lead titanate박막증착도중 기판의 Ti층과 Pt층의 확산으로 기판변형이 발생하는 반면, Pt/Ta기판은 기판변형이 일어나지 않았다. Pt/Ta기판에서 페롭스카이트 화학양론비를 갖는 매우 평탄한 lead titanate박막을 증착 하였는데, 산소유입량이 lead titanate박막의 결정성을 크게 지배하였다.

저자

정수옥 | Chung, Su-Ock
정성웅 | 정성웅
이원종 | 이원종

같은 권호 다른 논문