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플라즈마를 이용한 유기금속 화학증착법에 의한 강 유전체 SrBi2Ta2O9 박막의 제조 KCI 등재 SCOPUS

Preparation of Ferroelectric SrBi2Ta2O9 Thin Films Deposited by Plasma-enhanced Metalorganic Chemical Vapor Deposition

  • 언어KOR
  • URLhttps://db.koreascholar.com/Article/Detail/295133
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한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)
한국재료학회 (Materials Research Society Of Korea)
저자
  • 성낙진 | Seong, Nak-Jin
  • 김남경 | 김남경
  • 윤순길 | 윤순길