전기화학법을 이용한 BaTiO3박막의 제조

공필구; 유영성; 이종국; 김환; 박순자

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전기화학법을 이용한 BaTiO3박막의 제조 KCI 등재 SCOPUS

Preparation of BaTiO3 Thin Films by Electrochemical Method

공필구, 유영성, 이종국, 김환, 박순자

언어KOR
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한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)

제7권 제2호 (1997.02)
pp.114-120

한국재료학회 (Materials Research Society Of Korea)

초록

Ba(NO3)2와 TiCl4의 혼합 수용액으로부터 전기화학법 중 음극혼원법(cathodic reduction method)을 이용하여 stainless steel기판 위에 BaTiO3박막을 제조하였다. BaTiO3전구체 박막은 혼합 수용액으로부터 반응초기에 TiO2·nH2OM/형태로 우선적으로 형성되었으며, 일정 시간이 경과한 후에는 일정한 Ba/Ti몰비를 갖는 박막이 제조되었다. BaTiO3박막 내 Ba/Ti조성비는 혼합 수용액 내에 존재하는 이온 조성비 Ba2+/Ti4+에 변화하였는데, 0.3M Ba(NO3)2와 0.1M TiCI4의 혼합 수용액과 10mA/cm2의 전류를 흘려주는 조건에서 Ba/Ti의 조성비가 1에 가까운 박막을 얻을 수 있었다. 이러한 전구체 박막을 500˚C이상에서 열처리한 결고 페로브스카이트 상의 BaTiO3박막이 제조되었다.

저자

공필구 | Gong, Pil-Gu
유영성 | 유영성
이종국 | 이종국
김환 | 김환
박순자 | 박순자

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