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반응성 RF 마그네트론 스퍼터링 법으로 증착된 AIN박막의 우선 배향성 및 표면 탄성파 특성에 관한 연구 KCI 등재 SCOPUS

Preferred Orientation and SAW Characteristics of AIN Films Deposited by Reactive RF Magnetron Sputtering

서주원, 이원종
  • 언어KOR
  • URLhttps://db.koreascholar.com/Article/Detail/295189
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한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)
제7권 제6호 (1997.06)
pp.510-516
한국재료학회 (Materials Research Society Of Korea)
저자
  • 서주원 | Seo, Ju-Won
  • 이원종 | 이원종
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