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투과전자현미경에 의한 Zn1-xCoxSe박막 및 (ZnSe/FeSe) 초격자 박막의 미세구조 분석 KCI 등재 SCOPUS
Micro structural Characterization of Zn1-xCoxSe Epilayers and (ZnSe/FeSe) Superlattice by Transmission Electron Microscopy
한국재료학회지
(Korean Journal of Materials Research)
제7권 제10호 (1997.10)
pp.914-918
pp.914-918
한국재료학회
(Materials Research Society Of Korea)
초록
MBS에 의해(001)GaAs기판 위에 성장된 Zn1-xCoxSe(x=1.0, 7.4, 9.5 %)반도체 박막과 (ZnSe/FeSe)반도체 초격자 박막의 미세구조를 투과전자현미경을 이용하여 연구하였다. Zn1-xCoxSe 박막 시편의 경우, 박막과 기판 사이의 격자 불일치때문에 a/2<110>형태의 버거즈 벡터를 가지는 부정합 전위를 관찰하였다. 모든 Zn1-xCoxSe 박막과 기판의 계면은 뚜렷이 구별되었고, 계면에서 산화물이나 이물질이 존재하지 않았다. 또한, (ZnSe/FeSe)초격자를 성장시키기 전에 GaAs기판 위에 ZnSe바닥층을 넣음으로써 고품질의 (ZnSe/FeSe)초격자를 얻었다. (ZnSe/FeSe)초격자에 있는 FeSe는 섬아연광 결정구조로 존재하였다.
저자
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