Si 기판에서 구리와 철 금속불순물의 제거에 대한 연구 - koreascholar

논문 상세보기

Si 기판에서 구리와 철 금속불순물의 제거에 대한 연구 KCI 등재 SCOPUS

A Study on the Removal of Cu and Fe Impurities on Si Substrate

최백일, 전형탁

언어KOR
URLhttps://db.koreascholar.com/Article/Detail/295407

구독 기관 인증 시 무료 이용이 가능합니다. 4,000원

한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)

제8권 제9호 (1998.09)
pp.837-842

한국재료학회 (Materials Research Society Of Korea)

저자

최백일 | Choi, Baik-Il
전형탁 | 전형탁

같은 권호 다른 논문