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사진식각 공정에 의한 유리 미세구조물 제작 기술 KCI 등재 SCOPUS

Fabrication Technology of Glass Micro-framework by Photolithographic Process

  • 언어KOR
  • URLhttps://db.koreascholar.com/Article/Detail/295413
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한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)
한국재료학회 (Materials Research Society Of Korea)
초록

사진식각 공정으로 종횡비가 매우 큰 유리 미세구조물을 제작하였다. 미세구조물의 제작에는 압축응력에 강하고 전기적 절연체인 감광성 유리를 사용하였다. 감광성 유리는 석영기판 위에 크롬이 패턴된 마스크를 사용하여 파장이 312nm인 자외선에 노광되었다. 500˚C 이상의 열처리공정을 거친 후 초음파 분위기에서 10%의 불산용액으로 식각함으로써 유리 미세구조물을 제작하였다. 미세구조물의 최종 형상은 감광성 유리의 두께, 마스크 패턴, 자외선 노광조건 및 식각조건에 크게 의존하였으며, 종횡비가 30이상인 스트라이프 구조의 유리 미세구조물을 제작할 수 있었다.

저자
  • 오재열 | O, Jae-Yeol
  • 조영래 | 조영래
  • 김희수 | 김희수
  • 정효수 | 정효수