대면적의 비정질 실리콘 박막을 가우스 분포(Gaussian Profile)의 일차원 선형빔(line shape beam)을 가지는 엑시머 레이저를 사용하여 결정화를 시켰다. (Corning 7059 glass)위에 증착된 비정질 실리콘 박막이 재결정화된 실리콘 박막의 경우, 두께에따라 결정화되는 모양이 다르게 나타났다. 따라서 두께에 따라 결정화되는 상태의 변화를 조사하기 위하여 angle wrapping 방법을 새롭게 도입하여 깊이에 따른 Si층이 5μm 이상되도록 angle wrapping한 후에 박막의 두께에 따른 micro-raman spectra를 측정하여 결정화상태에 따른 잔류응력을 조사하였다. 또한 기판의 온도가 상온인 경우에 엑시머 레이저의 밀도가 300mJ/cm2에서 열처리한 경우에 재결정화된 Si 박막의 잔류응력에 박막의 표면에서 박막의 깊이에 따라 1.3×1010에서 1.6×1010을 거쳐 1.9×1010 dyne/cm2으로 phase의 변화에 따라 증가하였다. 또한 기판의 온도가 400˚C에서 최적의 열처리 에너지 밀도인 300mJ/cm2에서는 박막의 깊이에 따른 결정화 상태의변화에 따라 thermal stress 의 값이 8.1×109에서 9.0×109를 거쳐 9.9×109 dyne/cm2으로 변화하는 것을 알 수 있다. 따라서 liquid phase에서 solid phaserk 변화함에 따라 stress값이 증가하는 것을 알 수 있다.

• 이창우 | Lee, Chang-U
• 고석중 | 고석중