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Analysis on the Elasto-Plastic Peel Test in a Cu/Cr/Polyimide System KCI 등재 SCOPUS
Cu/Cr/Polyimide 계의 탄-소성 필 테스트에 대한 해석
한국재료학회지
(Korean Journal of Materials Research)
제9권 제3호 (1999.03)
pp.301-306
pp.301-306
한국재료학회
(Materials Research Society Of Korea)
초록
Cu/Cr/polyimide 계에서 금속박막 두께와 폴리이미드 표면의 플라즈마 전처리 조건에 따른 필 테스트 결과로부터 Park와 Yu의 X-선 측정에 의한 방법과 Moidu등의 이론적 방법을 통애 Cr/polyimide 계면균열의 계면파괴에너지를 구했다. 두 방법으로 구한 박막의 소성일과 계면파괴어네지는 대부분의 경우에 대해 서로 잘 일치하였으며, 이와 같은 실험적 방법과 이론적 방법 모두 계면파괴에너지의 측정에 유용함을 알 수 있었다. 계면파괴에너지는 박막 두께에 거의 무관하였으며, 0.03, 0.036 그리고 0.05 W/cm2의 rf플라즈마 밀도에 대해 각각 46.8±17.8, 170.3±42.9 그리고 253.9±44.4 J/m2의 계면파괴에너지를 얻었다.
저자
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