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Characterization of Pt Bottom Electrode Deposited on Sputtered-Ru/polysilicon by Metalorganic Chemical Vapor Deposition KCI 등재 SCOPUS
유기금속 화학증착법에 의해 Sputtered-Ru/Polysilicon 위에 증착된 Pt 전극의 특성
- 언어ENG
- URLhttps://db.koreascholar.com/Article/Detail/295521
4,000원
한국재료학회지
(Korean Journal of Materials Research)
제9권 제4호 (1999.04)
pp.368-372
pp.368-372
한국재료학회
(Materials Research Society Of Korea)
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