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금속 불순물 Ca이 Si 기판의 표면 미세 거칠기에 미치는 영향 KCI 등재 SCOPUS

The Effect on the Microroughness of Si Substrate by Metallic Impurity Ca

최형석, 전형탁
  • 언어KOR
  • URLhttps://db.koreascholar.com/Article/Detail/295541
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한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)
제9권 제5호 (1999.05)
pp.491-495
한국재료학회 (Materials Research Society Of Korea)
저자
  • 최형석 | Choe, Hyeong-Seok
  • 전형탁 | 전형탁
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최형석, 전형탁. (1999). 금속 불순물 Ca이 Si 기판의 표면 미세 거칠기에 미치는 영향. 한국재료학회지, 9(5), 491-495.

Choe, Hyeong-Seok, Jeon, Hyeong-Tak. (1999). The Effect on the Microroughness of Si Substrate by Metallic Impurity Ca. Korean Journal of Materials Research, 9(5), 491-495.

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