금속 불순물 Ca이 Si 기판의 표면 미세 거칠기에 미치는 영향 - koreascholar

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금속 불순물 Ca이 Si 기판의 표면 미세 거칠기에 미치는 영향 KCI 등재 SCOPUS

The Effect on the Microroughness of Si Substrate by Metallic Impurity Ca

최형석, 전형탁

언어KOR
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한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)

제9권 제5호 (1999.05)
pp.491-495

한국재료학회 (Materials Research Society Of Korea)

저자

최형석 | Choe, Hyeong-Seok
전형탁 | 전형탁

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