여러 분위기에서의 저온 열처리와 폴리머 기판의 표면 morphology가 비정질 Ta2O5 박막 커패시터의 특성에 미치는 영향

조성동; 백경욱

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여러 분위기에서의 저온 열처리와 폴리머 기판의 표면 morphology가 비정질 Ta2O5 박막 커패시터의 특성에 미치는 영향 KCI 등재 SCOPUS

Effects of Low Temperature Annealing at Various Atmospheres and Substrate Surface Morphology on the Characteristics of the Amorphous Ta2O5 Thin Film Capacitors

조성동, 백경욱

언어KOR
URLhttps://db.koreascholar.com/Article/Detail/295544

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한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)

제9권 제5호 (1999.05)
pp.509-514

한국재료학회 (Materials Research Society Of Korea)

저자

조성동 | Jo, Seong-Dong
백경욱 | 백경욱

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