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UHV-ICB 방법으로 Si(111) 기판위에 성장된 Y2O3 박막의 구조적 특성에 관한 연구 KCI 등재 SCOPUS

Structural Characteristics of Y2O3 Films Grown on Differently Surface-treated Si(111) by Ultrahigh Vacuum Ionized Cluster Beam

이동훈, 성태연, 조만호, 황정남
  • 언어KOR
  • URLhttps://db.koreascholar.com/Article/Detail/295547
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한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)
제9권 제5호 (1999.05)
pp.528-532
한국재료학회 (Materials Research Society Of Korea)
저자
  • 이동훈 | Lee, Dong-Hun
  • 성태연 | 성태연
  • 조만호 | 조만호
  • 황정남 | 황정남
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