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한국재료학회지
(Korean Journal of Materials Research)
제9권 제8호 (1999.08)
pp.775-781
pp.775-781
한국재료학회
(Materials Research Society Of Korea)
초록
균일하고 치밀한 미세구조를 갖는 Pd박막이 PdCl2를 사용하는 전기도금방법으로 제조되었다. 본 연구에서는 도금온도와 전류밀도가 주요 공정변수로서 고려되었고 이에 따른 음극효율 및 제조된 Pd도금막의 결정성, 형상 및 경도 등의 특성이 측정되었고, 이들간의 상호관계성이 검토되었다. 연구결과에 따르면, PdCl2를 사용하는 본 Pd전기도금 시스템에서는 50˚C와 5mA/cm2의 조건이 도금막의 형상으로 볼 때, 최적의 도금조건이라고 간주된다. 최적 조건에서 제조된 Pd도금막의 경도는 약 600kg/mm2이었다. 변수 및 특성간의 관계성 검토 결과, Pd막의 경도는 미세구조에 의해 큰 영향을 받지만, 결정의 배향성과의 연관성은 작은 것으로 해석된다.
저자
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