FTES/O2-PECVD 방법에 의한 SiOF 박막형성 - koreascholar

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FTES/O2-PECVD 방법에 의한 SiOF 박막형성 KCI 등재 SCOPUS

Formation of SiOF Thin Films by FTES/O2-PECVD Method

김덕수, 이지혁, 이광만, 강동식, 최치규

언어KOR
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한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)

제9권 제8호 (1999.08)
pp.825-830

한국재료학회 (Materials Research Society Of Korea)

저자

김덕수 | Kim, Duk-Soo
이지혁 | 이지혁
이광만 | 이광만
강동식 | 강동식
최치규 | 최치규

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