광 변조량, 광학밀도, 응답시간, 순환전위전류특성을 조사하여 열처리 효과에 따른 MoO3박막의 일렉트로크로믹 특성을 연구하였다. XRD 분석 결과 as-deposited MoO3박막과 350˚C 이하로 열처리된 박막은 비정질로 밝혀졌으며, 450˚C에서열처리한 MoO3박막은 결정질로 나타났다. As-deposited MoO3박막을 사용한 일렉트로크로믹 소자가 열처리된 박막을 사용한 소자에비하여 광변조 특성과 전기화학적 특성에서 좋은 일렉트로크로믹 현상을 보여주었다. MoO3박막의 열처리 온도에 따른 효과는 일렉트로크로믹 특성과 가역변색에서 광변조특성과 전기화학적 특성을 감소시키며, 열화현상을 촉진하는 것으로 나타났다.