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AFM을 이용한 PECVD에 의해 증착된 Sb-doped SnO2 박막의 표면형상에 관한 연구 KCI 등재 SCOPUS

AFM Studies on the Surface Morphology of Sb-doped SnO2 Thin Films Deposited by PECVD

윤석영, 김근수, 이원재, 김광호
  • 언어KOR
  • URLhttps://db.koreascholar.com/Article/Detail/295736
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한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)
제10권 제8호 (2000.08)
pp.525-531
한국재료학회 (Materials Research Society Of Korea)
초록

플라즈마 화학증착법을 이용하여 Corning glass 1737 기판에 안티몬 도핑 산화주석 박막을 증착하였다. 플라즈만 화학증착시 반응변수에 따른 박막의 결정상 및 형성된 표면거칠기에 대하여 XRD와 AFM을 이용하여 검토하였다. 반응온도 450˚C, 유입가스비 R[PSbClPSnCl4]=1.12, r.f. power 30W에서 비교적 결정성이 뛰어난 박막을 얻을 수 있었다. 화학증착법(TCVD)에 비해 플라즈마 열화학증착법(PECVD)으로 얻은 박막의 표현형상이 보다 균일하였다. 안티몬 도핑농도가 증가할수록, 증착온고가 낮을수록, 증착두께가 작을수록 박막의 표면거칠기가 보다 감소하였다.

키워드
Tin oxideSnO2Sb dopingPECVDSurface roughness
저자
  • 윤석영 | Yun, Seok-Yeong
  • 김근수 | 김근수
  • 이원재 | 이원재
  • 김광호 | 김광호
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