코발트 산화물 박막을 이용한 박막형 슈퍼 캐패시터의 제작 및 특성평가

김한기; 임재홍; 전은정; 성태연; 조원일; 윤영수

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코발트 산화물 박막을 이용한 박막형 슈퍼 캐패시터의 제작 및 특성평가 KCI 등재 SCOPUS

Fabrication and Analysis of Thin Film Supercapacitor using a Cobalt Oxide Thin Film Electrode

김한기, 임재홍, 전은정, 성태연, 조원일, 윤영수

언어KOR
URLhttps://db.koreascholar.com/Article/Detail/295838

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한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)

제11권 제5호 (2001.05)
pp.339-344

한국재료학회 (Materials Research Society Of Korea)

초록

코발트 산화물 박막을 전극으로 하여 Pt/Ti/Si 기판위에 Co3O4/LiPON/Co3O4로 구성된 전고상의 박막형 슈퍼캐패시터를 제작하였다. 각각의 Co3O4박막은 반응성 dc 마그네트론 스퍼터를 이용하여 O2/[Ar+O2] 비를 증가 시키며 성장시켰고, 비정질 LiPON 고체전해질 박막은 순수한 질소분위기 하에서 rf 스퍼터링으로 성장시켰다. 비록 벌크 타입의 슈퍼캐패시터에 비해 낮은 전기용량 (5-25mF/cm2-μm)을 가졌지만, Co3O4/LiPON/Co3O4 구조로 제작된 전고상 박막형 슈퍼캐패시터는 벌크 타입과 비슷한 거동을 나타내었다 0-2V의 전압구간, 50μA/cm2의 전류밀도에서 약 400사이클 까지 안정한 방전용량을 유지함을 관찰할 수 있었다 이러한 전고상 박막형 슈퍼캐패시터의 전기화학적 특성은 O2/[Ar+O2] 비에 의존하는데, 이러한 의존성을 구조적, 전기적 특성 및 표면특성을 분석하여 설명하였다.

키워드

Thin film supercapacitor LiPON electrolyte Co3O4 electrode and capacity

저자

김한기 | Kim, Han-Gi
임재홍 | 임재홍
전은정 | 전은정
성태연 | 성태연
조원일 | 조원일
윤영수 | 윤영수

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