BCl3및 BCl3/Ar 고밀도 유도결합 플라즈마를 이용한 GaAs와 AlGaS 반도체 소자의 건식식각

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Dry Etching of GaAs and AlGaAs Semiconductor Materials in High Density BCl3and BCl3/Ar Inductively Coupled Plasmas

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한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)

한국재료학회 (Materials Research Society Of Korea)

키워드

ICP dry etching GaAs AlGaAs

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