목적: 전면이 평면인(γ=∞) 하드코팅 된 렌즈에서 코팅박막의 두께와 굴절률을 박막의 손상없이 측정한다. 방법: He-Ne 레이저를 박막에서 도파되도록 렌즈로 집속시켜 Gadoliniun Gallium Garnet(G.G.G.) 프리즘에 입사시키고 입사된 광의 고유모드 중 일부가 도파관을 새어나가서 m차 line(m은 정수)으로 관측되도록 장치하였다. 이 line들 사이의 떨어진 거리를 광 검출기로 측정하는 prism-film coupler 방법으로 실험하였다. 결과: TE(transverse electric) mode에서 박막두께는 약 2.42 ㎛, TM(transverse magnetic) mode에서는 약 2.55 ㎛로 평균 약 2.49 ㎛로 측정되었고, 굴절률은 두 mode에서 약 1.60으로 같은 값을 얻었다. 결론: 이 값(2.49 ㎛)은 전자현미경(SEM)으로 측정한 두께와는 5.5%의 오차를 나타냈다.

Purpose: In a hard-coated lens which front surface is plane(γ=∞) we measured the thickness and the refractive index of coated film without damaging the film. Methods: He-Ne laser light, which was collimated using lenses, was applied to the film through Gadolinium Gallium Garnet(G.G.G.) prism. Some modes of the incident light were observed with m-th lines. The distance between these lines was measured by prism-film coupler method using a photo-detector. Result: The film thickness is ~2.42 ㎛, the refractive index is ~1.60 in TE mode and the film thickness is ~2.55 ㎛, the refractive index is ~1.60 in TM mode. The average thickness of the film measured using two polarized modes(TE & TM modes) is ~2.49 ㎛. Conclusions: The value(~2.49 ㎛) shows 5.5% difference compared to the thickness measured using an electron microscope.

• 우현경
• 박상배
• 김홍선
• 이성재
• 정연홍