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ITO 안경렌즈 도전성 코팅 막의 두께 측정에 관한 연구

  • 언어KOR
  • URLhttps://db.koreascholar.com/Article/Detail/313899
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대한시과학회 (The Korean Society Of Vision Science)
초록

목적: Radio Frequency(RF) 고주파 측정 장치를 이용하여 안경렌즈의 Indium Tin Oxide(ITO) 코팅 막의 두께와 전면커브에 대한 유도기전력 감소를 관찰하여 RF 고주파에 따른 ITO 박막두 께에 관해서 연구하였다. 방법: 안경렌즈 생지 위에 하드 코팅을 하였고, 그 위에 전자빔 증착기를 이용하여 안경렌즈 코팅 막을 제작하였다. 안경렌즈 코팅 막은 반사방지막 5층(SiO2/ZrO2/SiO2/ZrO2/SiO2), ITO 박막, 발수 코팅 막으로 이루어져있다. 이 때 ITO 코팅 시 이온빔 보조 장치를 사용하여 ITO 코팅박막의 부착력과 조밀도를 향상시켰다. 분광광도계로 ITO 코팅 안경렌즈의 투과율을 확인 하였고, SEM 사진으로부터 안경렌즈 코팅 막의 단면을 관찰하였다. 또한 RF 고주파 측정 장 치로부터 ITO박막의 두께와 안경렌즈 커브에 의한 유도기전력의 감소를 측정하였다. 결과: Transmittance Meter를 이용하여 ITO 안경렌즈 박막 두께에 따른 투과율을 측정한 결 과, 가시광선 영역에서 ITO 박막이 두꺼워짐에 따라 투과율이 약간씩 감소함을 알 수 있었다. SEM 사진 분석 결과, 박막 경계면이 전체적으로 뚜렷하지 않은 것은 하드 코팅 막에 빈공간이 많고, ITO막의 두께와 ZrO2 막 사이에 있는 SiO2막의 두께가 아주 작기 때문이다. 또한 RF 고 주파 측정 장치에서 안경렌즈를 RF 송수신기 코일 위에 놓았을 때 유도기전력의 감소량은 각 각의 커브에서 ITO 두께가 커짐에 따라 증가함을 알 수 있었고, 70Å과 90Å 두께의 ITO 박막 안경렌즈에서는 안경렌즈 전면 커브가 작아짐에 따라 유도기전력의 감소량이 대체적으로 커짐 을 알 수 있었다. 또한 안경렌즈를 RF 송수신기 코일 위에 놓았을 때 유도기전력의 감소량이 안경렌즈를 RF 송수신기 코일 안에 놓았을 때 유도기전력의 감소량보다 큰 것을 알 수 있다. 결론: 13.56MHz RF 고주파 측정 장치를 이용하여 ITO 안경렌즈 코팅 막의 두께와 전면커브에 대한 유도기전력 감소를 관찰한 결과, 유도기전력의 감소량은 안경렌즈를 RF 송수신기 위에 놓았을 때 ITO 두께는 커짐에 따라, 안경렌즈 전면 커브는 작아짐에 따라 유도기전력의 감소 량이 증가함을 알 수 있었다.

저자
  • 박문찬(신한대학교 안경광학과)
  • 박진홍(이온젠 테크놀로지)