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불화가스 분리용 기체 분리막

Gas separation membrane for perfluorocompound gases separation

  • 언어KOR
  • URLhttps://db.koreascholar.com/Article/Detail/344600
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한국막학회 (The Membrane Society Of Korea)
초록

불화가스는 우리나라의 성장동력 산업인 반도체와 LCD 제조공정 및 중전기분야에 주로 사용되며 발생하는 전체 온실가스 중에서 불화가스가 차지하는 비중은 약 5%에 불과하지만, 지구온난화 계수가 이산화탄소에 비해 약 22,200배가 높은 지구온난화 영향력으로 인해 전 세계적으로 그 사용에 대한 규제가 강화되고 있으며 이에 대한 제어기술이 필요한 실정이다. 분리막을 이용해 불화가스를 분리하기 위해서는 공기에 대해 매우 높은 투과특성을 갖는 반면에 불화가스에 대해서는 상대적으로 낮은 투과성을 갖는 소재와 분리막의 개발이 필수적이라 할 수 있다.

저자
  • 고형철(㈜ 에어레인) | Hyung Chul Koh
  • 하성용(㈜ 에어레인) | Seong Young Ha