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A Study of Characteristic and Preparation of TiO2, BaTiO3 Thin Film by Sol-gel Method KCI 등재

졸 겔법에 의한 TiO2, BaTiO3 박막의 제조와 그 특성에 관한 연구

  • 언어KOR
  • URLhttps://db.koreascholar.com/Article/Detail/373971
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대한시과학회지 (The Korean Journal of Vision Science)
대한시과학회 (The Korean Society Of Vision Science)
초록

목적 : 소다-라임-실리카 유리(soda-lime-silica glass,SG) 기판위에 Ti, Ba-naphthenates를 출발원료로 사용하고 졸겔법으로 나노 결정질 TiO2, BaTiO3 박막을 제조하였다. 박막의 특성을 분석하기 위하여 X-선 회절 분석, 전자현미경, UV스펙트럼을 이용하여 연구하였다.
방법 : 코팅용액을 soda-lime-silica glass 기판 위에 스핀코팅하고 공기분위기에서 500℃에서 열분해시켜 박막을 제조하였다. 제조된 TiO2, BaTiO3 박막의 결정화도는 고분해능 X-선 회절분석법으로 그리고 표면미세구조와 거칠기는 전계 방출 현미경과 원자간력 현미경으로 또 자외선(200〜380 nm), 가시광선(380〜750 nm), 적외선(750〜900 nm) 영역의 투과율은 UV-Visible-NIR 분광광도계로 측정되었다.
결과 : TiO2박막은 아나타제 상이 존재하였으며, BaTiO3 박막은 최고 피크가 확인되지 않았다. 열처리한 TiO2, BaTiO3 박막의 가시광선 투과율은 80% 이상의 투과율을 나타냈으며, BaTiO3 박막은 TiO2 박막보다 자외선 및 청광 차단율이 높았다.
결론 : BaTiO3 박막은 TiO2 보다 자외선 및 청광에 대해 더 높은 차단율이 나타냈으며, 가시광선 투과율은 제조된 모든 박막에서 80% 이상의 투과율이 측정되었다.

Purpose : In this study, TiO2, BaTiO3 thin films were prepared from metal naphthenates by sol-gel and the properties of the films have been studied. High resolution X-ray diffraction, field emission scanning electron microscope and UV spectrophotometer were used to analyze film’s property.
Methods : The precursor sol was spin-coated onto the soda-lime-silica glass at 1500 rpm for 10 sec. Prefired films were finally annealed at 500℃ for 30 min in air. The crystal structure and crystallinity of the films were investigated by High Resolution X-ray diffraction system. Surface character of the annealed film was evaluated by field emission scanning electron microscope and scanning probe microscope. The transmittances in the UV(200-380 nm), visible(380-750 nm) and NIR(750-900 nm) range was measured by UV visible NIR spectrophotometer.
Results : The TiO2 films was crystallized into anatase and BaTiO3 film has not been identified for its peak. The transmittances at visible wavelength range for TiO2, BaTiO3 film was 80% or more, BaTiO3 film had higher UV and blue light blocking than TiO2 film.
Conclusion : BaTiO3 film had a higher blocking rate of ultraviolet and blue light than TiO2 film, and the visible light transmission rate was measured at more than 80% from all Film.

목차
Abstract
 Ⅰ. 서 론
 Ⅱ. 재료 및 방법
 Ⅲ. 결과 및 고찰
 Ⅳ. 결 론
 References
 요 약
저자
  • Ha-Rim Kim(건양대학교 안경광학과) | 김하림
  • Ju-Hyun Jeong(건양대학교 안경광학과) | 정주현