이동 로봇의 수직 운동 감지를 위한 초소형 MEMS Z축 가속도계

이상민; 조동일

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이동 로봇의 수직 운동 감지를 위한 초소형 MEMS Z축 가속도계 KCI 등재

A MEMS Z-axis Microaccelerometer for Vertical Motion Sensing of Mobile Robot

이상민, 조동일

언어KOR
URLhttps://db.koreascholar.com/Article/Detail/976

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로봇학회논문지 (The Journal of Korea Robotics Society)

제2권 제3호 (2007.09)
pp.249-254

한국로봇학회 (Korea Robotics Society)

초록

본 논문에서는 웨이퍼 레벨 밀봉 실장된 수직 운동 가속도 신호를 감지할 수 있는 초소형 Z축 가속도 센싱 엘리먼트를 제작하였다. 초소형 Z축 가속도 센싱 엘리먼트는 수직 방향의 정전용량 변화를 필요로 하기 때문에 단일 기판상에 수직 단차의 형성을 가능케 하는 확장된 희생 몸체 미세 가공 기술 (Extended Sacrificial Bulk Micromachining, ESBM) 을 이용하여 제작되었다. 확장된 희생 몸체 미세 가공 기술을 이용하면 정렬오

키워드

Z-axis microaccelerometer Vertical motion sensing Extended Sacrificial Bulk Micromachining Wafer-level Hermetic Packaging

저자

이상민 | Sang-Min Lee
조동일 | Dong-Il "Dan" Cho

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