현대 기업의 경쟁력은 공급사슬 경쟁력으로 대변되고 있다. 급변하는 시장 상황에 능동적으로 대응하 기 위하여 중소기업의 자생적인 역량 강화가 절실하다. 또한, 상호 신뢰를 기반으로 대·중소기업, 중소기업 간 사회적 자본 형성 및 호혜적인 관계가 중요하다. 따라서 본 연구에서는 한국 반도체 장비 산업의 1, 2차 공급기업 대상으로 상생협력과 핵심역량, 관계 자본이 어떻게 설명되는지, 구조방정식을 활용하여 모형과 가설을 확인하였다. 분석결과 첫째, 한국 반도체 장비산업의 대·중소기업, 기업 간 상생협력의 협력활동은 중소기업의 핵심역량을 통하여 관계 자본에 기여한다는 결론을 얻었다. 또한, 중소기업의 핵심 역량은 상생협력의 협력활동과 관계자본 사이에 매개 작용을 한다고 밝혀졌다. 둘째, 한국 반도체 장비산 업의 대·중소기업, 기업 간 상생협력의 공정한 거래는 관계 자본에 직접적인 영향을 주는 것으로 밝혀졌다. 즉, 기업 간 상생협력의 협력활동은 중소기업의 핵심역량을 통하여 관계 자본에 영향을 주고, 공정 거래는 관계 자본에 직접적인 영향을 주는 것으로 나타났다. 셋째, 관계 자본은 상생협력, 핵심역량과 중소기업 운영성과 사이의 매개 효과를 확인하였다.